納米壓痕儀，納米壓印光刻技術(shù)上市公司有哪些

國(guó)內(nèi)做納米壓印比較好的公司有蘇州光舵微納科技股份有限公司。

蘇州光舵微納科技股份有限公司成立于2011年，致力于納米壓印設(shè)備及技術(shù)的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化推廣應(yīng)用，研發(fā)制作出多款納米壓印設(shè)備、配套工藝和耗材，并成功推出全自動(dòng)量產(chǎn)型納米壓印設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展，在LED行業(yè)實(shí)現(xiàn)了對(duì)步進(jìn)式光刻機(jī)的產(chǎn)業(yè)化替代，也具備有多款適用于AR光柵，微構(gòu)光學(xué)器件制作的量產(chǎn)型納米壓印設(shè)備，且具備有干法刻蝕微納結(jié)構(gòu)器件的加工能力。

公司由國(guó)家級(jí)人才工程引進(jìn)人才創(chuàng)立，成立以來取得了國(guó)家級(jí)、江蘇省、蘇州市各級(jí)政府的扶持及資助，活動(dòng)了蓬勃的發(fā)展，是微納制造技術(shù)領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)。

納米壓印技術(shù)的步驟

第一步是模板的加工。一般使用電子束刻蝕等手段，在硅或其他襯底上加工出所需要的結(jié)構(gòu)作為模板。由于電子的衍射極限遠(yuǎn)小于光子，因此可以達(dá)到遠(yuǎn)高于光刻的分辨率。

第二步是圖樣的轉(zhuǎn)移。在待加工的材料表面涂上光刻膠，然后將模板壓在其表面，采用加壓的方式使圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上。注意光刻膠不能被全部去除，防止模板與材料直接接觸，損壞模板。

第三步是襯底的加工。用紫外光使光刻膠固化，移開模板后，用刻蝕液將上一步未完全去除的光刻膠刻蝕掉，露出待加工材料表面，然后使用化學(xué)刻蝕的方法進(jìn)行加工，完成后去除全部光刻膠，最終得到高精度加工的材料。

以上內(nèi)容參考：蘇州光舵微納科技股份有限公司官網(wǎng)-公司簡(jiǎn)介

目前，國(guó)內(nèi)有許多上市公司在納米壓印光刻技術(shù)領(lǐng)域有所布局，以下是一些主要的上市公司：

1.中電科電子裝備集團(tuán)有限公司：這是國(guó)內(nèi)最大的納米壓印光刻機(jī)制造商，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。

2.上海新陽科技股份有限公司：該公司是一家在光刻膠配套材料領(lǐng)域有深厚積累的公司，其產(chǎn)品包括納米壓印光刻膠等。

3.至純科技：這家公司是一家在精密制造領(lǐng)域有著豐富經(jīng)驗(yàn)的公司，提供納米壓印設(shè)備及相關(guān)服務(wù)。

4.華卓精科股份有限公司：該公司研發(fā)的納米壓印設(shè)備在精度和穩(wěn)定性方面表現(xiàn)優(yōu)異。

5.凌云光技術(shù)有限公司：這家公司是一家在光電子領(lǐng)域有著深厚積累的公司，其產(chǎn)品包括納米壓印設(shè)備及相關(guān)軟件。

此外，還有一些其他的企業(yè)如蘇州納微科技股份有限公司、北方微電子股份有限公司等也在納米壓印技術(shù)領(lǐng)域有所布局。

總的來說，國(guó)內(nèi)在納米壓印光刻技術(shù)領(lǐng)域布局的上市公司主要有以上幾家，但實(shí)際上還有許多其他的企業(yè)和個(gè)人也在進(jìn)行相關(guān)的研究和開發(fā)。這些企業(yè)和個(gè)人在納米壓印光刻技術(shù)領(lǐng)域所做的努力，對(duì)于推動(dòng)我國(guó)微納加工技術(shù)的發(fā)展，提升我國(guó)在全球微納加工領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)力，都有著重要的意義。